真空チャンバーおよび構造部品：堆積チャンバー、マシンフレーム、ベース、フランジなど。
ガスおよび流体管理システム：バルブディストリビューター、バルブ本体、スプレーヘッド、配管接続部品など。
放熱および温度制御モジュール：冷却プレート、熱交換器など。
精密運動および伝動部品：ウェーハ搬送アーム、ロボット末端装置、リニアスライドステージなど。
ウェーハ治具およびベース：ウェーハ吸引ディスク、キャリアリング、ポジショナーなど。
電気絶縁および構造部品：絶縁カバー、コネクタ、機器外装、観察窓など。
耐腐食性流体部品：ウェットエッチング装置の槽内裏材、シール部品、ポンプ・バルブ部品など。
高耐磨耗性伝動部品：ギア、ガイドレール、スライダー、ベアリングなど。
